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ATOP六寸厂晶圆追踪系统方案介绍

2012-04-15上海上尚自动化技术有限公司

1、目前使用状况:
原本采用的晶圆架如下图



A、目前FEB中有很多这样的架子,操作人员操作好一个动作后,会随便找一个架子,存放晶圆盒。等下次要用到的时候,已经忘记自己把晶圆盒放到哪里了,就需要找,就像大海捞针一样。不仅浪费时间而且容易搞错。
B、目前使用的晶圆架为6层,而且每层的深度可以放2个Box,每层可以放5排则每层最多可以放10个Box
C、每个晶圆盒上会有一个条码,表示Lot number
2、改造需求
通过系统能够快速找到晶圆盒
3、改造方案建议
1、因为货架上晶圆盒摆放是一层放10个,且为两排,并目前摆放是随意性的。要想定位到每个晶圆盒比较困难,而且投入比较高。所以建议定位到每个货架,然后操作人员再通过LotNumber寻找到正确的晶圆盒
2、货架改造图


在货架上安装一个数据显示终端及一个条码扫描器
3、流程介绍
A、放入晶圆盒:操作人员在摆放晶圆盒前,先通过货架上的条码扫描器扫描LotNumber, 数据显示终端上会显示该LotNumber(表示条码已经正确读取),然后将其放在货架的任一位置。条码数据通过数据显示终端的网络接口传送到后台数据库,系统中存有数据显示终端对应得货架名,从而系统知道该晶圆盒摆放到了那个货架上面。
B、 拿出晶圆盒:操作人员要拿出晶圆盒时,可通过FEB的任一PC终端查询该晶圆盒位置,查询到该晶圆盒所在的货架后,去该货架按照LotNumberr寻找到正确的晶圆盒,再在扫描器上扫描一下条码,告诉系统该晶圆盒已经拿走。数据显示终端也会显示该LotNumber,让操作人员再次确认是否拿的正确。
4、系统硬件需求及连接图
A、数据显示终端------DT4000
DT4000介绍:
主要特性:
直接连接以太网络,100Mbps通讯速率更快更稳定
全角模式:16x16点阵 15 字符x4 行 英数字及中文(简/繁体)显示
半角模式:8x8点阵 30字符x8 行 英数字显示

FLASH: 可存储13000个16x16 中文字符
支持USB设备连接 2个USB接口
操作系统:Linux

产品规格
CPU:32位CPU
SDRAM:32M bytes (可扩展至64M bytes)
FLASH:4M bytes (可扩展至16M bytes)
网络接口:支持无线网络协议 IEEE802.3 TCP/UDP/SNMP/Telnet/HTTP/ICMP多种协议,标准10/100 Base-T RJ-45接口
液晶显示:LED背光设计 240x64 像素 液晶显示
蜂鸣器:电子蜂鸣器,声音可调节

串口:一个RS232口
一个可设定RS-485/RS-232接口,D形9针接头
接口:标准PS2接口,连接键盘、扫描枪等设备
功能键:8个功能键
USB接口:2个USB接口,可连接USB接口设备
输入输出:2组数字输入(DI)、2组数字输出(DO)
指示灯:LED指示灯指示:电源/运行/网络/串口
功率:+12VDC @ 1.25A
温度:工作温度:0⊥ to 50℃ 储放温度:-20℃ to 70℃.
湿度:5~90%

5、设备清单

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