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| 神港精机Shinko Seiki,成立于1949年，是专业真空设备制造商，神港精机Shinko Seiki的产品有 | |||||
| 各类油旋片真空泵、水环式真空泵、罗茨泵、蒸镀设备、溅涂设备、蚀刻设备、表面处理设备、真空回流 | |||||
| 系统、等离子回流系统及光学检测设备等产品。产品广泛应用于工业、环境及液晶显示器制造等行业. | |||||
| 油回转式 | |||||
| 【基本构造】 | |||||
| 油回转泵作为一种经济实惠的真空泵被广泛使用. | |||||
| 它主要用是将从大气压到0.13~1.3*10-2Pa的气体进去压缩,再排放到大气中去. | |||||
| 【动作原理】 | |||||
| 通过被固定在轴上的转子的转动,使泵的气缸内部产生空间.气体再由吸气口进入气缸内部的空间. | |||||
| 然后由转子的转动.对气缸与活塞,气缸与翼型片之间的空间里的气体转移至被压缩的空间,通过排气阀,被排除到油罐内部. | |||||
| 【特 征】 | |||||
| 1. 耐久性强,寿命长 | |||||
| 2. 排气性优越,操作简单 | |||||
| 3. 可以处理水蒸气 | |||||
| 4. 内有气镇阀,防止凝结性气体凝结,与油混合,引起性能降低 | |||||
| 5. 可以进行凝结性气体的排气处理 | |||||
| 二 罗茨式【特 征】 | |||||
| 1. 排气性能非常优越 | |||||
| 2. 操作简单,维修方便 | |||||
| 3. 寿命长 | |||||
| 4. 紧凑型设计,振动小 | |||||
| 5. 可以得到清洁的真空 | |||||
| 6. 采用安全的卧式方式 | |||||
| 【后段泵的选择】 | |||||
| 1. 罗茨泵不能在大气压下压缩.排气,所以性能因后段泵的种类,性能的不同而变化.所以,需要选用最适于需要的后段泵. | |||||
| 2. 后段泵的排气容量作为1/2--1/10的泵选定 | |||||
| 3. 操作压力较高且连续工作时,选用大容量的泵,操作压力低且连续工作时,选择小容量的泵. | |||||
| 4. 利用油泵及水封泵的性能特点,高真空时后段用油回转泵,低真空凝缩型气体多时用水封式泵. | |||||
| 5. 根据规格不同,泵的组合油多种,选择前请垂询. | |||||
| 三 干式泵 | |||||
| 1 创新型螺旋转子的新技术 | |||||
| ●由我司自己设计开发的螺旋转子技术,具有杰出的排气效率,多年使用,可以很好的减轻因磨损或腐蚀引起的性能不良 | |||||
| 2令人惊奇的低回转速度 | |||||
| ●因为泵的运转速度低,轴密封,轴承等负担减轻,寿命延长 | |||||
| 3采用高效率的DC无刷电机 | |||||
| ●由于DC无刷电机可以控制运转次数,而使启动电流降低,通常运转时可以选择通常型或经济型(运转中也可以切换),而且,可以消除50HZ/60HZ的地区能力差,实现任意赫兹. | |||||
| 4环保和经济 | |||||
| ● 由于采用DC无刷电机及经济型设定,可以节约消耗电力,也可以减少CO2,保护环境. | |||||
| 5 集合各种用户的需要 | |||||
| ● 从大气压到到达压力,全部过程中连续运转 | |||||
| ● 不用冷却用冷媒,轴封冷媒,吹扫气体(吸入非腐蚀性气体时 | |||||
| ●螺旋式单段排气回路短,不易造成多段中的内部颗粒堆积 | |||||
| ● 即使进行吹扫 N2, 也不会影响到达压力 | |||||
| ● 主要材料使用铸铁,连接冷媒部分使用特殊氟素装 | |||||
| ●备有各种保护性能的泵控制器,可以进行外部控制 | |||||
| 四 水封式【特 征】 | |||||
| 1. 因为是水封式,可以进行易燃型气体及腐蚀型气体的 | |||||
| 排气.更适于含有水蒸气及水滴的气体的处理. | |||||
| 2. 2段式真空泵可以在3×104Pa以下发挥其高性能 | |||||
