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MEMS加速度计MS9010
Colibrys MS9010系列是一个电容式MEMS加速度计，它是由一个立体微加工工艺支撑的硅元件，一个低功耗ASIC专用信号处理器和一个存储补偿值的微控制器以及一个温度传感器等元件组成。该产品是一个低功耗的、校准的、功能强大和性能稳定的产品，其电子配置中带有一个电源重置以防止电压不稳的全保护装置。
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应用范围： |
特点： |
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· 振动测量
· 地震测量
· 机器人技术
· 碰撞检测
· 数据记录仪
· 钻探
· 倾斜测量运输
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优异的偏差稳定性
环境性能好
集成温度传感器
低成本、低电压模拟输出
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性能参数：
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工
作
特
性 |
量程 |
±10 |
g |
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封装 |
LCC20 |
8.9mm×8.9mm |
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偏差标定 |
<50 |
mg |
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48h偏差稳定性 [1] |
0.25 |
mg |
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年偏差稳定性[2] |
1.5 (<5) |
mg |
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上/掉电重复性 |
<0.75 |
mg |
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偏差温度系数[3] |
0.5 |
mg/℃ |
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±2 |
mg/℃ |
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比例因子，灵敏度（K1） |
200±2 |
mV/g |
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年比例因子稳定性 |
300 (< 1000) |
ppm |
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比例因子温度系数 |
100 |
ppm/℃ |
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-50 / 250 |
（最小/最大值） |
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输入轴向误差（Kp,Ko） |
<10 |
mrad(最大值) |
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1 |
%(最大值) |
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分辨率/阈值 (@ 1Hz) |
< 0.6 |
mg(最大值) |
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非线性度 |
<0.9 |
% FS（最大值） |
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<0.09 |
g(最大值) |
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带宽[4 ] |
0~≥100 |
Hz |
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白噪声频谱密度 |
18 |
µV/ hz½ |
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24 |
最大值 |
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共振频率 |
3.7 |
kHz |
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环
境
特
性 |
运行温度 |
-55°C to +125°C |
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极限温度 |
-67℉~255℉ |
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可靠性 |
MIL-HDBK-217，等级二 |
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抗冲击 |
10,000g(0.2ms,1/2 sin,冲击作用于每一轴 o,p,i) |
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恢复时间 |
<1ms(1000g, 1/2 sin 1ms,冲击作用于 i轴) |
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振动 |
20g rms,20~2000Hz (随机噪声，o ,p,i每轴作用 30分钟 ) |
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LCC封装 |
符合 MIL-STD-833-E |
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ESD灵敏度 |
二级（符合 MIL-STD-883-E，方法一3015.7） |
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注： - LCC应牢固固定在 PCB上，使用封装底部作为轴向对准的参考面。 |
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电
气
特
性 |
输入电压（VDD_VSS） |
2.5~5.5 VDC.标定标准电压为5.0VDC。 |
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输出电压范围 |
0.5~4.5 VDC @ 5.0 VDC输入电压（ 0 g时为 2.5V±10mV） |
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运行电流消耗 |
<400 µA @ 5.0 VDC |
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初始化及复位电流消耗 |
1400 µA @ 5.0 VDC，初始化阶段（室温下小于35 ms） |
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复位 |
本传感器具有过电保护功能。当供电电源以 >380V/s的斜坡增大高于+0.46V时；或供电电源降至低于 2.2V时，传感器自动重启。恢复时间典型值为25ms（最大值35ms）。 |
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输出电阻/负载 |
最低 10kΩ,在 Vout (pin 32)和 VAGND(pin 38)最高 50pF,在 Vout(pin 32)；和最大 100 µF，在 VAGND(pin 38) |
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温
度
特
性 |
20℃时的输出电压 |
1.632 V |
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灵敏度 |
-11.77mV/℃ |
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长期稳定性 |
-0.03℃~+0.09℃ (1000h @ 150℃) |
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精度 |
±5℃（-40℃~+125℃） |
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物理
特性 |
重量 |
<1.5g |
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尺寸 |
典型值：8.9×8.9×3.23 mm （0.35×0.35×0.127英寸）
最大值：9.2×9.2×3.5 mm （0.354×0.354×0.138 英寸） |
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除非另有说明，所有参数值在±20℃（±68℉）及 5.0VDC条件下测得。 |
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[1]：按照IEEE 1293-1998 12.3.8的规定在20℃时测量48小时；测量前稳定1小时。
[2]：1年稳定性根据IEEE 528-2001定义为：上电/上电，存储于-55℃和85℃，在-40℃~125℃之间T循环，-55℃~85℃掉电干扰、振动和冲击。
[3]: 温度系数指在-40~20℃范围内，在此范围内输出表现典型值呈线性。
[4]：带宽定义为灵敏度降低小于3dB的频率范围。
