德国Feinmess压电陶瓷马达驱动纳米级定位平台

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技术规格： 1、德国JENA开放式光栅尺（增量式） 光栅尺规格：JENA LIE5 光栅尺尺带：单层钢带尺 光栅尺栅距：20µm 尺带　精度： ± 1µm 输出　信号： rectangular signal RS422 信号　分割： 4倍频＋50分割 分　辨　率： 0.1µm ２、以色列NANOMOTION压电陶瓷马达 电机规格：HR-4 静态保持力： 16N　（无磁场、无加热） 位置　限位： fixed stops Guideways：backlash-free preloaded precision cross roller guideways Casing：warp-proof, anodized black　aluminum alloy