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无铁芯型
1、 动子线圈单元轻,响应极快。
2、 齿槽效应小,速度脉动小,动作非常平滑。
3、 不存在吸引力,导向的负荷最小化。
有铁芯型
1、 推力密度高,能用于大推力场合。
2、 电机的安装空间可以减小。
3、 电机驱动单元的刚性很强,适用于较大重量负荷的高速定位场合。
■特点:
●行程可根据需求设定
定子磁铁模块化设计,可根据需求进行组装,电机行程可自由地设计。
●丰富的产品系列
无铁芯型,持续推力从7N到300N(最大推力21N到850N)
有铁芯型,持续推力从250N到1500N(最大推力750N到4500N)
●高速高精度的定位
1、 宽调速范围:超低速(10μm/sec)到 超高速 (3m/sec)宽调速范围,特别在低速时速度脉动极小。
2、 高精度:安装在线性马达上的光栅尺分辨率根据选用可达到超高定位精度(0.1μm)。
3、 高加速性能:最大加速性能可达到200m/s2(20G)以上。
■应用领域
●半导体制造装置:IC取出装置、接线器、扩散炉、电子绘图装置、晶片搬送装置
●精密XY平台:激光加工机,超高速驱动、定位驱动、在清洁室、真空环境中的精密工作台
●机器人搬送装置:提取和放置,高频往复驱动装置。
●机床:高加速度驱动头和工作台
●量测/检查装置:高精度量测装置,高速检测装置
●其他:物流搬送。